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加速度传感器是通过检测物体产生的惯性力,将速度变化相对于物体时间的比例(加速度)作为加速度输出的传感器。虽然能够检测运动、冲击、振动、重力,但根据检测方式的不同,特性也不同(测量范围、抗噪声性、可否检测静态加速度等)。检测方式有压电式、压电电阻式、静电电容式、频率变化式、热检测式,另外,由于结构的不同,有传统的机械式和MEMS式。
汽车用MEMS加速度计、汽车用MEMS陀螺仪、
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