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老化试验设备用于进行筛选测试,通过对半导体、电子元件和电子设备施加温度和电压应力来消除初始缺陷,或进行耐久性测试,通过加速降解来再现一段时间内的降解情况。 作为筛选测试,进行100%的测试,以消除对应于故障率曲线(所谓的浴缸曲线)开始下降的初始缺陷。
光电组件晶圆点测系统、晶圆检测系统
RF-biased HTOL, DC HTOL
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