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探针 / 探针卡是在半导体的开发制造过程中,为进行电气检查而确定晶片位置并接触探针 (probe needle, probe pin) 的装置。 探针卡 (probe card) 主要用于在同一过程中的电气检查时使探针接触晶片的规定位置的夹具。探针具有一定程度的通用性,但探针卡是将与被测产品对应的探针排列在印刷电路板上的专用夹具。
Probe system, Parametric probe card, Functional probe card, Vertical probe card
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